全新设计的2D光束控制扫描镜给研究和产品开发提供了光束扫描的颠覆性新方案。这些镜片可分为反射模式（2D反射镜）或透射模式（可调棱镜）。该双轴音圈反射镜 (VCM) 占用空间小，具有 15mm 大反射镜，可以进行±25° 的机械倾斜度调节，以实现±50° 的光学扫描范围。此镜片适用于汽车工业 (激光雷达、动态大灯、ADAS)、激光加工、生物识别、（眼球追踪）、机器视觉、3D打印和医疗激光应用等。
我们一站式供应各种类型的可调光束控制镜,光束转向反射镜,音圈扫描镜,双轴音圈镜,双轴矢量扫描镜,2D反射镜,可调棱镜,音圈镜,可调光束控制器,电控光束转折器,光束控制镜,二维光束控制扫描系统，可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务，欢迎联系我们的产品经理！
紧凑型快速与精密偏转镜（2D反射镜）兼具 MEMS 镜的紧凑性和倾斜功能，以及振镜的坚固性，采用坚固的音圈驱动，实现高精度二维光束偏转。快速偏转镜设计用于大倾角，并配备集成光学位置反馈，适用于视场（FOV）扩展等应用。精密偏转镜具有超薄设计和大镜面，适合小幅、高精度调整及激光摆动控制。
二维光束偏转镜（MR）采用音圈驱动与长寿命精密轴承，可围绕两个轴快速倾斜反射面，实现平稳、精确且磨损极小的二维光束转向。其虚拟旋转点靠近镜面，确保光束精确对准并显著抑制横向偏移。内置光学位置传感器提供实时反馈，结合闭环 PID 控制、板载校准及温度监控，保证长期稳定的性能；配合低延迟模拟接口与多种高功率镜面镀膜，使快反镜可实现紧凑、可靠且响应迅速的二维光束转向。轻巧紧凑的机身同时提供大孔径与宽倾斜角度，利用单个光学元件即可完成真正的二维转向，从而降低反射损耗、消除光束偏移并简化系统设计。与摄像头配合使用时，可扩展视场角（FOV）。坚固的音圈驱动与实时光学反馈共同实现了精确、可重复的运动控制。
紧凑型精细光束偏转镜 (FMR) 采用环绕反射面的音圈驱动，实现精确的双轴运动。单个大型反射镜即可为低功率到高功率激光器提供真正的二维光束偏转，分辨率达到微弧度级，而无轴承设计则确保了其较长的使用寿命。FMR体积小巧，却能实现大孔径和小倾斜角度。其快速响应时间、高功率镜面镀膜以及可将光束吸收器直接置于镜面后方的特性，使其适用于二维摆动等高要求应用。
主要特点
紧凑型快速偏转镜采用单个光学元件，可实现大孔径和宽倾斜角度，从而实现真正的二维光束转向，减少反射损耗，消除光束偏移，并简化系统设计。与摄像头配合使用，可扩展视场角。坚固耐用的音圈驱动和实时光学反馈确保了精确、可重复的运动控制。
MR-15-30双轴快速偏转镜是需要在紧凑体积中实现大偏转应用的理想选择，镜面尺寸为 15 mm，外壳直径仅 30 mm，可实现 ±25° 的机械倾斜，对应 100° 的光学视场（FOV）。镜面内置位置反馈系统，可通过标准 PID 控制器实现精确控制，完美满足众多需要宽视场角且镜面尺寸大于大多数 MEMS 微镜的应用需求。基于成熟的音圈驱动技术，与传统的振镜系统相比，其虚拟旋转点靠近镜面。该镜面可根据需求选择不同镀膜，如保护金、可见光介质镀膜或保护银镀膜。非常适合用于皮肤扫描仪、激光皮肤科、体外受精培养箱、激光加工、质量控制、条形码扫描仪、半导体和电子产品检测、激光雷达扫描仪、自由空间通信等
| 型号 | 镜面尺寸（mm） | 倾斜角度（°） | 全量程带宽（Hz） | 分辨率（μrad） | 重复精度 RMS（μrad） | 位置反馈 |
| MR-15-30 | 15 | ±25 | 20 | 22 | 44 | 是 |
*所有角度均为机械角度
主要优势
主要应用
标准产品概览
| 型号 | 镜面尺寸（mm） | 镜面镀膜 | 典型波长范围 |
| MR-15-30-PS-25x25D | 15 | 可见光介质镀膜 | 400 - 2000 |
| MR-15-30-DVIS-25x25D | 15 | 保护金镀膜 | 400 - 700 |
| MR-15-30-G-25x25D | 15 | 保护银镀膜 | 800 - 2000 |
机械规格
| 参数 | X 轴 | Y轴 |
| 驱动器类型 | 音圈驱动 | |
| 机械倾斜角度 | ±25° 圆形 FOV | |
| 镜面直径 | 15.0 mm | |
| 旋转中心到镜面距离 | 1.3 mm | |
| 外壳直径 | 30.0 mm | |
| 高度 | 14.5 mm | |
| 重量 | 29.3 g | |
| 机械固定 | 4 × M2 螺丝 | |
| 磁屏蔽 | 有 | |
性能规格
| 参数 | X 轴 | Y轴 |
| 零点漂移（典型值） | 30 µrad/K（在整个视场角范围内的 RMS 值） | |
| 传感器分辨率 | 22 µrad （14 位 ADC） | |
| 重复精度 | 40 µrad（在室温下整个视场角的 RMS 值） | |
| 校准精度（最大/典型值） | 0.15° / 0.08°（2.6 mrad / 1.4 mrad，整个视场角的 RMS 值） | |
| 静态电机常数 | 3 rad/A（线性化全范围） | |
| 动态电机常数（典型值） | 20 krad/(A·s²)（线性化全范围） | 35 krad/(A·s²)（线性化全范围） |
| 共振频率 | 11–13 Hz | 15–18 Hz |
| 全量程带宽 | 20 Hz （正弦波 ±25°） | |
| 小信号带宽 | 300 Hz （正弦波 ±0.1°，单轴） | 400 Hz（正弦波 ±0.1°，单轴） |
| 小角步进稳定时间（0.1° 步进） | 2–2.5 ms（典型值） | |
| 大角步进稳定时间（10° 步进） | 8 ms（典型值） | |
光学规格
| 反射率 | 平均值 |
| 保护金 保护银 可见光介质膜 |
95%（800 nm < λ < 2 μm）— 45° 入射角 96%（450 nm < λ < 2 μm）— 45° 入射角 97%（450 nm < λ < 650 nm）— 45° ± 25° 入射角 |
| 表面质量 | 5/ 5x0.4; L1x0.06; C3x0.25; E 0.25 @ 60-40 划痕 麻点（ISO 10110） |
| 镜面平整度 | λ/2 P-V @ 549 nm（ISO 10110） |
电气规格
| 控制接口 | 用于驱动线圈和反馈读出的模拟接口 |
| 最大连续电流（RMS） | 单轴 0.37 A，双轴同时 0.26 A（每个线圈） |
| 峰值电流 | 2 A （10 ms 脉冲） |
| 最大平均驱动功率 | 1.5 W（双线圈总和） |
| 线圈电阻 | 11 Ω（典型值） |
| 线圈电感 | 6 mH（典型值） |
| 位置传感器供电电流 | 40 mA （@1.5 V） |
| 位置传感器输出电流 | 0.1 mA （典型值） |
| 位置传感器工作波长 | 850 nm |
| 温度传感器 | NXP LM75B 或同类产品，I²C 地址：0x48（含读/写位） |
| EEPROM | M24C08 或同类产品，I²C 地址：0x50–0x53（含读/写位） |
环境规格
| 工作温度 | -20 - +85 °C |
| 存储温度 | -40 - +85 °C |
| 机械冲击 | 105 g，15 ms（符合 ISO 9022-3-30-07-1） |
| 振动 | 2.6 g，20–150 Hz（符合 ISO 9022-3-37-02-0） |
| 循环寿命 | ＞2 × 10⁹ 次 |
产品资料与选型咨询： optotune紧凑型快速偏转镜
FMR系列精细反射镜体积小巧、通光孔径大，可实现微弧度分辨率的二维光束精确快速控制。其紧凑设计采用环绕镜面的音圈驱动器，支持从低功率到高功率激光器的应用。高功率镀膜和可选的镜后光束吸收器，使其非常适合二维摆动等高要求场景。无轴承结构确保出色的重复性和延长使用寿命。
精细光束反射镜 FMR-20 专为需要精密倾斜控制及高角度分辨率的应用场景而设计。能够以高达 250 Hz 的带宽扫描各类光束图案，并提供 ±2.3 mrad 的倾斜范围。FMR-20 采用 20×20 mm² 镜面尺寸，通光孔径大且响应快速，可实现微弧度精度的二维光束控制。紧凑设计、高功率镀膜以及镜后可直接安装光束吸收器，使其成为二维摆动等高要求应用的理想选择。多种镜面镀膜可选（保护金镀膜、近红外介质膜），非常适合激光加工和自由空间通信。搭配 Optotune ICC-4C-2000 工业电流控制器，可构建即插即用的精密光束转向系统。
| 型号 | 镜面尺寸 (mm) | 倾斜角(°) | 全量程带宽(Hz) | 分辨率(μrad) | 倾角重复性RMS (μrad) | 位置反馈 |
| FMR-20 | 20 x 20 | ±0.2 | 250 | 4 | - | 无 |
产品特点
标准产品概览
| 型号 | 镜面尺寸 (mm) | 镜面镀膜 | 典型波长范围 | 安装方式 |
| FMR-20-DNIR-0.2x0.2D-M | 20 x 20 | 近红外介质膜 | 750 - 1100 | 安装在外壳中 |
| FMR-20-1064HP-0.2x0.2D-M | 20 x 20 | 1064nm 高功率 | 1060 - 1100 | 安装在外壳中 |
| FMR-20-PG-0.2x0.2D-M | 20 x 20 | 保护金镀膜 | 800 - 2000 | 安装在外壳中 |
| FMR-20-PG-0.2x0.2D | 20 x 20 | 保护金镀膜 | 800 - 2000 | 未安装 |
| FMR-20-DNIR-0.2x0.2D | 20 x 20 | 近红外介质膜 | 750 - 1100 | 未安装 |
| FMR-20-1064HP-0.2x0.2D | 20 x 20 | 1064nm 高功率 | 1060 - 1100 | 未安装 |
机械规格
| 驱动器 | 音圈 |
| 单轴机械倾角 | ±5.2 mrad ±0.3° |
| 双轴同时驱动机械倾角 | ±3.5 mrad ±0.2° 圆形视场 |
| 镜面尺寸 | 20 × 20 mm |
| 镜面厚度 | 2 mm |
| 器件尺寸 | 50.8 × 50.8 × 12 mm |
| 重量 | 53 g |
性能规格
| 运动模式 | 二维可编程 |
| 位置控制 | 开环 |
| 外部传感器 | 可选 （用于反馈控制） |
| 量程漂移 | 1000 ppm/K |
| 分辨率 | 4 µrad（搭配 ICC-4C-2000） |
| 静态电机常数 | 17.5 mrad/A / 1.0 °/A |
| 动态电机常数 | 1.2 × 10⁴ rad/(A·s²) |
| 共振频率 | 130 ± 5 Hz |
| 带宽 | 250 Hz（正弦波，±2.3 mrad） |
| 典型跃迁（上升）时间 | 1.3 ms |
| 稳定时间 | 4 ms |
光学规格
| 镜面处理 | 保护金镀膜、近红外介质膜 1064 nm 高功率、可定制 |
| 反射率 保护金 近红外介质膜 1064 nm 高功率 |
>95%（波长 800–2000 nm，入射角 0–45°） >98%（波长 750–1100 nm，入射角 0–45°） >99.9%（波长 1060–1100 nm，入射角 58–70°） |
| 表面质量 | 5/ 5×0.4；L1×0.06；C3×0.25 ISO 10110，相当于划痕-凹痕 60/40 |
| 镜面平整度 | 2 λ (1100 nm) 峰谷值 |
| 损伤阈值LIDT | 10 J/cm²，10 ns 脉冲，10 Hz，ISO 21254 （1064 nm 高功率镀膜） |
电气规格
| 最大连续电流（RMS） | 单轴：300 mA 双轴：200 mA（每通道） |
| 最大峰值电流（持续 10 ms） | 1 A |
| 平均功耗 | < 4 W |
| 标称驱动器电阻（每通道） | 9.8 Ω |
| 温度传感器 | ILM75BTP,147 或兼容型号 I2C-address: 1001100x (R: 0x98 / W: 0x99) |
| EEPROM | M24C64-FMC6TG 或兼容型号 I2X-address: 1010000x (R: 0xA0 / W: 0xA1) |
产品资料与选型咨询： optotune FMR系列紧凑型精细光束反射镜FMR-20
相关应用说明：精细转向镜与快速转向镜宣传册，机器视觉宣传册，视场(FOV)扩展模块，视野扩展应用说明
