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Sill场镜
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Sill精密扫描场镜,ƒ-theta透镜

时间:2020-06-16 类别:光学元器件 关注:33660

超过125年光学镜头生产经验,波长范围涵盖193nm~2,100nm

Sill Optics 的产品组合从简单的准直和聚焦光学器件扩展到扩束器以及远心和非远心扫描镜头。波长涵盖从 193 nm~1980 nm。主要涵盖 1064 nm 左右的固态激光器及其谐波的应用。此外,透镜还设计用于波长为 1030 nm 至 1090 nm 的盘式或光纤激光器以及波长为 800 nm 至 980 nm 和 900 nm 至 1070 nm 的二极管激光器的应用。此外,我们的许多镜头、望远镜和镜头系统还针对短脉冲激光(皮秒范围)和超短脉冲激光(飞秒范围)的使用进行了优化。我们提供适用于 193 nm 和 248 nm 左右极短波长的光学器件,也提供近红外和中红外范围(1550 nm 和 1980 nm)内的长波辐射的光学器件。大量的多光谱扫描镜头选择提供了通过光学器件或使用多个波长进行观察的可能性,并完善了我们的范围。

我们一站式供应各种类型的场镜,扫描聚焦镜,平场聚焦镜,平场透镜,变倍扩束镜,可调扩束镜,非球面透镜,聚焦透镜,消色差透镜,可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务,欢迎联系我们的产品经理!

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产品经理信息

与XY振镜扫描器或多边形扫描器配合使用的透镜称为F-Theta透镜、fθ透镜、扫描透镜、物镜、平面场镜或简称场镜。Sill Optics 致力于制造高品质激光光学元件已有近40年的历史。这些透镜专为工业机械工程中的激光材料加工应用而设计(激光钻孔、激光焊接和合成材料激光切割等)。它们特别适用于消费电子、汽车、半导体、增材制造及太阳能电池制造等领域,同时也适用于医疗与生物技术(共聚焦显微、眼科)以及科学研究领域。光学元件的设计与品质在透镜性能中起着关键作用。

场镜的类型

一般来说,场镜是可以分为标准扫描透镜和远心扫描透镜两类。

标准扫描透镜校正球面焦平面,从而实现理想的平面照明。平面聚焦平面使得光斑尺寸在 XY 像平面或整个扫描范围内几乎恒定。光斑在像平面上的位置与扫描角度成正比。

远心扫描透镜提供垂直入射到像平面的光束。这对于钻孔或构建三维(深度)表面结构至关重要。然而,与非远心透镜相比,它们的缺点是焦平面较小。

目前,Sill Optis并未明确定义标准扫描透镜和远心扫描透镜。请根据最大远心误差[°]值的大小来判断扫描镜头是否适合您的应用。

sill场镜

激光透镜材料

包括短脉冲和超短脉冲激光器在内的高功率激光器对透镜提出了严峻的挑战。激光加工过程深受普通光学玻璃特性的影响。例如,热透镜效应会改变光束形状和工作距离。在这方面,熔融石英相比普通光学玻璃具有显著优势,因为它对热效应的敏感性较低,因此非常适合用于短脉冲/超短脉冲激光光源。

选择合适镜头的检查清单

  • 入射激光(波长、光束直径(1/e²)、功率、脉冲宽度等)

  • 光斑直径

  • 扫描区域(扫描尺寸)

  • 所需工作距离

光学玻璃场镜

型号焦距[mm]幅面[mm×mm]光斑大小(1/e²)[μm]最大光束直径Ø[mm]最大远心误差[°]工作距离[mm]SP/USP*消色差
1064nm
S4LFT0080-1268039x396.5253.879.4
S4LFT0163-126163107x10726.41215181.2
S4LFT0253-126254160x16035.21416.7284.9
S4LFT1254-126254160x16041.41214.9306.5
S4LFT3254-126254115x11516.6308.5297.0
S4LFT0350-126350212x21256.31216412.2
S4LFT0420-126420242x24227.73014.8480.9
S4LFT0508-126508325x32555.62016.3651.4
S4LFT0635-126635370x37051.32516.3732.8
532+1064nm
S4LFT1163-081163102x10213.3/20.01212.7159.0
S4LFT8254-081254180x18016.6/33.01519.7211.6
515-589nm
S4LFT7012-29210035x359.4101.3101.4
532nm
S4LFT5100-12110069x699.8102.4126.7
S4LFT0300-121300200x20019.41415.8324.1

*SP=短脉冲,USP=超短脉冲

熔融石英场镜

型号焦距[mm]扫描幅面[mm×mm]光斑大小(1/e²)[μm]最大光束直径Ø[mm]最大远心误差[°]工作距离[mm]SP/USP*
1030-1080nm
S4LFT4147-328487 x 76.3152.161.1
S4LFT4065-3286515x159.415283.1
S4LFT0710-32810060x6039.1511.5120.7
S4LFT4010-32810035x3519.5101.3129.8
S4LFT4127-32812550x5013.6151.5157.6
S4LFT0763-328163100x10045.6714.6194.1
S4LFT3162-32816390x9021.2155.6201.5
S4LFT3167-328163100x10032.61011.6200.7
S4LFT0725-328254140x14061.5816.2282.8
S4LFT3250-328254160x16033.21510.7321.3
S4LFT1330-328330215x21533.32023.5203.4
S4LFT1420-328420280x28058.51417.3499.2
S4LFT5430-328430250 x 25030.03011.6538
S4LFT1655-328650410x41063.32022.5581.6
S4LFT0910-328910500x50065.83016.21048.8
515-532nm
S4LFT4148-292486x63.2151.860
S4LFT4066-2926515x154.8151.585.8
S4LFT4010-29210035x359.8101.5130.2
S4LFT4126-29212553x5312101.6167
S4LFT3161-29216390x9015.4104.8219
S4LFT4262-29216365x6512.7121.7195.4
S4LFT1330-292330212x21224.31420.3279
S4LFT5650-292650410 x 41031.82022.7569.9
420-480nm
S4LFT4125-37312545x456.1201.6160.2
S4LFT3170-37316875x757.6203.2228.3
S4LFT3250-373241115x11510207.4304.8
S4LFT1330-373330180x18010.72011.1268.2
343-355nm
S4LFT4149-075486x62.1152.169.3
S4LFT4067-0756515x153.1151.881.7
S4LFT4010-07510035x356.5101.2132
S4LFT4125-07512553x538101.1156.9
S4LFT3170-07516390x9011.4104.3221.7
S4LFT4262-07516365x6510.5102193.7
S4LFT1330-075330210x21015.41421260.5
S4LFT3340-075340205 x 20517.0140.85479.5
257-266nm
S4LFT4068-1996520 x 202.5151.385.6
S4LFT3170-19915485x857.7103.8208.1
S4LFT4263-19916370x709.2102.6218.4

*SP=短脉冲,USP=超短脉冲

亮点产品

1.用于紫外超短脉冲激光器的紧凑型消色差扫描透镜

Sill Optics这款紧凑型消色差 f-theta 镜头专为脉冲持续时间高达 190 fs 的超短脉冲激光而开发,具有以下几个显著优势:

  • 出色的消色差能力:波长涵盖在 345.2 nm 至 346.8 nm ;

  • 克服海森堡不确定性原理:精确的消色差对于确保光斑在场角保持圆形并且不会变成椭圆形至关重要。在高功率范围内,色彩校正是一个特殊的挑战,因为只有少数光学玻璃适用于超短脉冲激光。

  • 创新的材料技术:S4LFT4015-075 使用一种只需要石英玻璃的新型技术。与传统的色彩校正镜头相比,这显着降低了成本、重量和设计。

消色差扫描透镜

型号波长焦距孔径透射率工作距离光束直径重量
S4LFT4015-075-FS 346nm100mm20.9mm>91%137.7mm10mm0.65kg

2. 用于高功率激光器的新型远心f-theta镜头

Sill Optics 推出一款适用于高功率激光器的创新型远心 f-theta 镜头,它将完美的远心度与超大扫描范围完美结合。我们由此在液晶显示屏的激光切割领域树立了新的标准。

标准液晶显示屏格式通常经济高效,而特殊格式(例如航空或现代铁路技术中的格式)则具有挑战性。对于中小批量生产而言,新开发的具有特殊长宽比的镜头成本可能相当高。因此,通常首选标准格式进行切割,且不会降低质量。新型远心 f-theta 镜头 S4LFT3340-075 的突出优势:

  • 远心度:小于 1° 的远心误差可确保光束垂直入射并在整个工作平面上进行精确切割。

  • 大扫描范围:205 mm x 205 mm 的惊人扫描范围可实现最大切割长度并提高生产效率。

  • 最小热影响:减小的切割深度可确保对相邻组件的热影响最小。

  • 均匀的光斑形状:我们的衍射极限设计确保整个扫描场的光斑尺寸均匀,从而显著提升切割质量。

用于高功率激光器的新型远心 f-theta 镜头

型号波长焦距孔径透射率工作距离光束直径重量
S4LFT3340-075 355nm340mm27.8mm>91%471.5mm27.8mm23kg

3. 用于光伏领域的f-theta扫描镜头

能源转型给我们带来了全球性的挑战。在这方面,光伏等可再生能源至关重要。 提高光伏效率的关键之一是改进太阳能电池的制造工艺。激光材料加工用于将单个电池焊接成模块、掺杂选择性发射器以及去除极薄的抗反射层和钝化层。除了具有成本效益的快速生产外,该工艺还为该行业提供了更多优势,例如高精度和可实现的几微米线宽。F-Theta镜头S4LFT1330-075就是专为此类应用而开发的。

紫外线范围内的激光尤其用于抗反射层和钝化层的烧蚀。这些层可改善光学和电气性能,从而提高太阳能电池的效率。紫外线范围内的聚焦尺寸特别小,因此线宽也相应较窄。

我们已成为光伏领域F-Theta镜头的领先供应商。虽然S4LFT1330-075适M12/G12尺寸的晶片,但也可以加工小至M2 的晶片。S4LFT1330-075镜头适用的波长范围为343 nm-355nm,当使用14mm的自由孔径时,在210 mmx210 mm的视场上可实现<18μm的光斑尺寸。该产品系列还包括其他具有类似规格的镜头,它们也适用于绿色(515nm-532nm)和红外线(1030nm-1090nm)范围内的其他波长。

用于光伏领域的 F-theta 透镜

型号波长焦距孔径透射率工作距离光束直径重量
S4LFT1330-075 346nm329.3mm36.0mm>91%260.5mm40mm1.5kg

4. 用于金属增材制造的全新f-theta扫描镜头

Sill Optics 推出的全新 S4LFT5450-292 扫描镜头,这是一款专为绿光波长增材制造设计的 650mm扫描镜头。增材制造的发展远不止于原型制造。这项创新技术不仅能够加工聚合物,还能加工金属,如今正受到珠宝和奢侈品行业的青睐。它提供的精妙设计和无限的创作自由,非常适合打造独一无二的高端作品。为了满足这一市场的需求,Sill Optics 在 S4LFT1655-328 的成功基础上,开发了 S4LFT5650-292,这是一款焦距为 650mm的镜头。与针对红外波长进行优化的前代产品不同,S4LFT5650-292 专为 532 nm 的绿光激光器而设计。该波长非常适合金、银等金属,可实现更高的能量吸收率、更高的效率,并在 410 mm x 410 mm 的视场内,以 20 mm 的输入光束实现 32 µm 至 38.5 µm 的更精细的焦点尺寸。S4LFT5650-292采用高透射率熔融石英制成,并镀有超过 98% 的透射率镀膜,可与现代 USP 激光器兼容,使其成为下一代奢侈品制造的强大工具。与我们所有的镜头一样,焦距、波长或工作距离等个性化规格可根据客户要求进行修改,从而提供类似的定制镜头。如需了解更多信息,请随时联系我们的团队

用于金属增材制造的全新f-theta扫描镜头

型号波长焦距孔径透射率工作距离光束直径重量
S4LFT5650-292 532nm650.0mm36.3mm>91%569.9mm20mm2.27kg
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