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SCANLAB激光扫描振镜,激光打标头

时间:2026-10-09 类别:激光配件 关注:61

德国精工,高速低漂移,增材制造、焊接切割、精密微加工优选

SCANLAB 德国原装工业激光扫描振镜,包含 excelliSCAN、intelliSCAN、SCANcube、hurrySCAN、basiCube 五大产品系列,通光孔径覆盖 7‑30mm,分为数字编码器高端款、高性能模拟款、紧凑型经济型等多个版本。搭载 SCANahead 预测控制、iDRIVE 状态诊断,支持 SL2‑100 / XY2‑100 Enhanced 数字接口,可选水冷、风冷散热,适配光纤、绿光、紫外、DUV、CO₂多类激光器。产品兼顾高速动态响应、重复定位精度与长期热稳定性,广泛用于激光打标、焊接、切割、清洗、微加工、金属增材制造 SLM/LPBF 等场景。

我们一站式供应各种类型的SCANLAB 扫描振镜, 激光扫描振镜, 振镜扫描振镜, galvo scanner, excelliSCAN, intelliSCAN, intelliSCAN IV, intelliSCAN III, intelliSCANse, SCANcube, SCANcube IV, hurrySCAN, basiCube, SCANahead, 激光打标振镜, 高功率振镜, 金属增材制造振镜, 振镜选型, 振镜技术参数,可提供选型、技术指导、安装培训、个性定制等全生命周期、全流程服务,欢迎联系我们的产品经理!

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产品经理信息

SCANLAB扫描振镜工程师选型总表

振镜系列子系列及型号核心参数 / 特点典型应用初步选型建议需向厂家确认
excelliSCANexcelliSCAN 14
excelliSCAN 20
excelliSCAN 30
孔径 14–30 mm;数字编码器;20 bit;SCANahead;IP66高速打标、精密微加工、深雕、增材制造高动态、高精度优先各型号功率、扫描场、光斑、镀膜、冷却
intelliSCANintelliSCAN IV 10
intelliSCAN IV 14
intelliSCAN IV 20
intelliSCAN IV 30
模拟检测;20 bit;SCANahead;跟踪误差 0 msSLM/LPBF、精密加工、高速焊接重视动态性能及预测控制各型号功率、光斑、扫描场、冷却
intelliSCANintelliSCAN III 10
intelliSCAN III 14
intelliSCAN III 20
intelliSCAN III 30
模拟检测;18 bit;成熟伺服调谐打标、焊接、切割、钻孔、增材制造通用工业加工,重视成熟方案20/30 型号功率、动态性能、接口
intelliSCANintelliSCAN 10标准型
intelliSCAN 14标准型
intelliSCAN 20标准型
intelliSCAN 30标准型
模拟检测;18 bit;通用型配置打标、焊接、切割、微加工综合性能与成本功率、漂移、速度、冷却
intelliSCANintelliSCANse 10
intelliSCANse 14
intelliSCANse 20
intelliSCANse 30
数字编码器;10/14 型为 20  bit,重复性 <0.4 µrad精密轮廓、精细雕刻、复杂轨迹加工优先评估 10/14 型20/30 型号是否可供、分辨率、重复性、功率
SCANcubeSCANcube IV 7
SCANcube IV 10
SCANcube IV 14
SCANcube IV 20
SCANcube IV 30
紧凑型;热稳定性优化;状态反馈打标、清洗、切割、焊接、增材制造关注紧凑集成及状态监测IV 7 完整参数、功率、接口、冷却
SCANcubeSCANcube III 10
SCANcube III 14
紧凑型;模拟检测;16 bit打标、微加工、电子材料加工关注尺寸与动态性能速度、热稳定性、光学配置
SCANcubeSCANcube 7标准型
SCANcube 10标准型
紧凑型;模拟检测;16 bit;~  100/200 W打标、编码、轻型加工小型设备、常规打标功率、接口、光束偏移、场镜
hurrySCANhurrySCAN II 77 mm;模拟检测;18 bit;打标~ 3.5 m/s;定位~ 15 m/s高速打标、编码、微结构加工小孔径、高速应用实际工艺速度、重复性、扫描场、同步
hurrySCANhurrySCAN 20标准型
hurrySCAN 30标准型
面向较大孔径及较高功率应用焊接、材料加工、打标、微加工评估大孔径、高功率需求各型号功率、光斑、动态性能;
basiCubebasiCube 10
basiCube 10d
basiCube 14
basiCube 20
10–20 mm;模拟检测;16  bit;10d 侧重动态性能打标、编码、在线加工及部分焊接/切割重视紧凑性与成本10d 动态参数、14/20 功率、接口、散热


如何选择 SCANLAB 扫描振镜

  • 追求更高扫描动态性能:选择 intelliSCAN IV(SCANahead)或 excelliSCAN,适合高速、高生产率设备。
  • 追求更高定位精度与长期稳定性:选择 intelliSCAN 带编码器系列或 excelliSCAN(数字编码器),适合精密轮廓、精密雕刻与复杂几何加工。
  • 需要成熟的高性能方案:选择 intelliSCAN III。
  • 常规工业激光加工:选择 intelliSCAN 标准系列。
  • 紧凑安装空间与成本敏感的打标设备:选择 SCANcube(IV / III / 标准系列)或 basiCube;需要状态回读时选 SCANcube IV。
  • 小孔径高速打标到大孔径高功率加工:可评估 hurrySCAN II 系列(小孔径高速)与 hurrySCAN 标准系列(高功率)。

选型时建议提供:激光波长、激光功率、入射光束直径、目标加工幅面、F-Theta 场镜焦距、加工材料与工艺类型、扫描速度与定位精度要求,以及系统热管理条件(水冷 / 风冷),以便确定扫描振镜型号与配套方案。


excelliSCAN 系列扫描振镜

excelliSCAN 是面向高动态、高精度及高功率激光加工的高端扫描振镜系列,采用 SCANahead 控制技术与 dynAXISse 数字编码器振镜,并提供 14、20、30 mm 通光孔径配置。
 excelliSCAN系列采用高密封、坚固的结构并优化热管理,支持水冷与镜片压缩空气冷却,标准结构具备 IP66 防护。excelliSCAN 适用于对加工速度、轨迹精度、轮廓一致性与过程稳定性要求较高的设备,如高速打标、精密微加工、深雕刻、钻孔与增材制造。

excelliSCAN 系列扫描振镜

主要优势

  • SCANahead 控制技术充分利用振镜动态性能,帮助提升轨迹控制效率。
  • 采用 dynAXISse 数字编码器振镜,位置分辨率最高 20 bit。
  • 源文档列示重复性(RMS)小于 0.4 µrad、非线性小于 0.5 mrad/44°。
  • 支持水冷,并支持通过压缩空气冷却扫描镜;具体条件依型号和系统配置。
  • 面向高功率及长时间连续运行场景,具备热管理设计。

主要技术参数

型号excelliSCAN  14excelliSCAN  20excelliSCAN  30
光学配置
通光孔径14 mm20 mm30 mm
位置检测方式数字式编码器(dynAXISse)数字式编码器(dynAXISse)数字式编码器(dynAXISse)
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器
可选镀膜多波长、宽带、短脉冲及保偏应用镀膜——
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)500 W @ 1064 nm(配合风冷)1000 W @ 1064 nm(配合风冷)3000 W @ 1064 nm(配合风冷)
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸95 × 95 mm60 × 60 mm—
典型光斑尺寸23 µm16 µm—
动态性能
预装调谐模式数量1 种1 种1 种
典型调谐模式通用调谐通用调谐通用调谐
跟踪误差0 ms0 ms0 ms
打标速度< 4 m/s< 2.5 m/s< 2 m/s
定位速度< 32 m/s< 16 m/s< 11.2 m/s
写入速度(高质量模式)850 cps560 cps460 cps
写入速度(良好质量模式)1000 cps690 cps590 cps
精度与漂移
重复性(RMS)< 0.4 µrad< 0.4 µrad< 0.4 µrad
最大定位分辨率20 bit20 bit20 bit
非线性度< 0.5 mrad / 44°< 0.5 mrad / 44°< 0.5 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 10 µrad/K< 10 µrad/K< 10 µrad/K
温度漂移(增益)< 5 ppm/K< 5 ppm/K< 5 ppm/K
8 小时漂移(零点偏移)< 20 µrad< 20 µrad< 20 µrad
8 小时漂移(增益)< 20 ppm< 20 ppm< 20 ppm
24 小时漂移(零点偏移)< 20 µrad< 20 µrad< 25 µrad
24 小时漂移(增益)< 20 ppm< 20 ppm< 25 ppm
增益误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100数字 SL2-100数字 SL2-100
高级诊断功能支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)
供电要求30 V DC,最大 3 A48 V DC,最大 5 A48 V DC,最大 5 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜
连接器位置光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
重量(不含场镜,标准外壳)~ 7 kg~ 10 kg~ 10 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)189.1 × 118 × 158.5 mm(水冷配置)205 × 140 × 194.8 mm(水冷配置)194.9 × 153 × 173 mm(水冷配置)
光束偏移量16.42 mm25.25 mm35.54 mm
水冷支持支持支持
风冷支持(压缩空气冷却扫描镜)支持(压缩空气冷却扫描镜)支持(压缩空气冷却扫描镜)
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:最大定位分辨率 20 bit 以完整角度范围计算(例如 ±0.36 rad 时为 0.7 µrad);实现优于 16 bit(11 µrad)的分辨率需配合 SL2-100 接口。
 注:“—”表示原资料未列出该项,请以 SCANLAB 官方数据表为准。不同型号应结合 F-Theta 场镜焦距、激光波长、光束质量及实际加工幅面进行系统选型。

典型应用

  • 高速打标、精密微加工及深雕刻
  • 精密钻孔与复杂轨迹加工
  • 金属增材制造及高动态扫描应用
  • 适配的高功率激光加工系统

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长与功率选择;标准镀膜覆盖 YAG、光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器。
excelliSCAN 扫描振镜按入射光束直径与功率选择 14 / 20 / 30 mm;20 mm、30 mm 适合高功率场景。
F-Theta 场镜按扫描场尺寸、焦距、波长与目标光斑选择。
RTC6 控制板配合 SL2-100 接口与  SCANahead,可自动设置扫描器与激光器延迟。
冷却支持水冷与镜片压缩空气冷却,按功率选择。

详情资料:excelliSCAN系列扫描振镜


intelliSCAN 系列扫描振镜

intelliSCAN 系列是面向工业激光加工的高性能振镜扫描系统,提供 10、14、20、30 mm 四种通光孔径,可配合 SCANLAB RTC6 控制系统实现高速、高精度二维激光扫描。按技术架构与产品代际分为 intelliSCAN IV 系列、intelliSCAN III 系列、intelliSCAN 标准系列和 intelliSCAN 带编码器系列(intelliSCANse),覆盖激光打标、精密焊接、切割、钻孔、表面处理、太阳能电池加工、电池制造及金属增材制造(SLM/LPBF)。

子系列产品定位主要特点
2.1  intelliSCAN IV 系列新一代高性能扫描振镜高动态性能、高精度、高稳定性,支持 SCANahead
2.2  intelliSCAN III 系列高性能扫描振镜成熟稳定,适用于多种工业激光加工
2.3  intelliSCAN 标准系列标准型扫描振镜兼顾性能与经济性,适用于常规工业激光加工
2.4  intelliSCAN 带编码器系列数字编码器高精度扫描振镜数字位置检测、更高定位精度、更低长期漂移

选型重点:扫描速度、定位精度、激光功率、激光功率同步、加工幅面、光斑尺寸和系统热管理。


intelliSCAN IV 系列新一代高动态扫描振镜

SCANLAB intelliSCAN IV 是面向高速、高精度及高可靠性激光加工的高性能扫描振镜系列。系列提供 10、14、20、30 mm 通光孔径,支持 SCANahead 与矢量调谐,可依据激光功率、入射光束、成像范围及轨迹要求进行系统选型。针对高速、高精度和长时间运行的激光加工需求,intelliSCAN IV 优化了机械、光学与热管理设计,采用 48 V DC 供电,支持水冷与风冷,并支持 iDRIVE 高级诊断。可配合 SCANLAB RTC6 控制板,用于金属增材制造(SLM/LPBF)、光伏与电池制造、精密微加工、激光焊接、切割与钻孔等高生产率应用。

intelliSCAN IV系列扫描振镜

主要优势

  • SCANahead 预测控制:根据目标轨迹优化振镜运动,提升动态性能并降低高速轨迹跟踪误差。
  • 支持 SCANahead 与矢量调谐,适应不同加工轨迹和工艺需求。
  • 重复性(RMS)源数据标示小于 2 µrad,最大定位分辨率为 20 bit。
  • 提供多种通光孔径及镀膜选项,覆盖不同波长与光束规格。
  • 支持 iDRIVE 高级诊断;支持水冷/风冷配置,具体依型号和系统配置而定。

主要技术参数

型号intelliSCAN  IV 10intelliSCAN  IV 14intelliSCAN  IV 20intelliSCAN  IV 30
光学配置
通光孔径10 mm14 mm20 mm30 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器
可选镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
动态性能
典型调谐模式SCANahead / 矢量调谐SCANahead / 矢量调谐SCANahead / 矢量调谐SCANahead / 矢量调谐
跟踪误差0  ms(SCANahead)
0.08  ms(矢量调谐)
0  ms(SCANahead)
0.12  ms(矢量调谐)
0  ms(SCANahead)
0.21  ms(矢量调谐)
0  ms(SCANahead)
0.32  ms(矢量调谐)
定位速度57.6  m/s(SCANahead) 25.6 m/s(矢量调谐)38.4  m/s(SCANahead) 19.2 m/s(矢量调谐)19.2  m/s(SCANahead) 12.8 m/s(矢量调谐)9.0  m/s(SCANahead) 8.0 m/s(矢量调谐)
写入速度(高质量模式)1200  cps(SCANahead) 710 cps(矢量调谐)930  cps(SCANahead) 500 cps(矢量调谐)630  cps(SCANahead) 300 cps(矢量调谐)420  cps(SCANahead) 200 cps(矢量调谐)
写入速度(良好质量模式)1310  cps(SCANahead) 880 cps(矢量调谐)1110  cps(SCANahead) 740 cps(矢量调谐)730  cps(SCANahead) 420 cps(矢量调谐)500  cps(SCANahead) 290 cps(矢量调谐)
阶跃响应时间(1% 满量程)0.20  ms(SCANahead) 0.18 ms(矢量调谐)0.25  ms(SCANahead) 0.24 ms(矢量调谐)0.37  ms(SCANahead) 0.40 ms(矢量调谐)0.56  ms(SCANahead) 0.63 ms(矢量调谐)
阶跃响应时间(10% 满量程)0.65  ms(SCANahead) 0.66 ms(矢量调谐)0.79  ms(SCANahead) 0.76 ms(矢量调谐)1.18  ms(SCANahead) 1.18 ms(矢量调谐)1.82  ms(SCANahead) 1.88 ms(矢量调谐)
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率20 bit20 bit20 bit20 bit
非线性度< 0.7 mrad / 44°< 0.7 mrad / 44°< 0.7 mrad / 44°< 0.7 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 10 µrad/K< 10 µrad/K< 10 µrad/K< 10 µrad/K
温度漂移(增益)< 10 ppm/K< 10 ppm/K< 10 ppm/K< 10 ppm/K
8 小时漂移(零点偏移)< 40 µrad< 40 µrad< 40 µrad< 40 µrad
8 小时漂移(增益)< 50 ppm< 50 ppm< 50 ppm< 50 ppm
24 小时漂移(零点偏移)< 50 µrad< 50 µrad< 50 µrad< 50 µrad
24 小时漂移(增益)< 50 ppm< 50 ppm< 50 ppm< 50 ppm
增益误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
自动识别
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
自动识别
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
自动识别
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
自动识别
高级诊断功能支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)
供电要求48 V DC,最大 5 A48 V DC,最大 5 A48 V DC,最大 5 A48 V DC,最大 5 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜
连接器位置光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
重量(不含场镜,标准外壳)~ 2.9 kg~ 3.5 kg~ 5.2 kg~ 5.7 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)147 × 102 × 135 mm147 × 102 × 141 mm175.5 × 126 × 165 mm186 × 140 × 144.5 mm
光束偏移量12.54 mm16.42 mm25.25 mm35.54 mm
水冷支持支持支持支持
风冷支持支持支持支持
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:最大定位分辨率 20 bit 以完整角度范围计算(例如 ±0.35 rad 时~ 0.7 µrad);实现优于 16 bit(11 µrad)的分辨率需配合 SL2-100 接口。
 注:最大激光功率、扫描场尺寸、典型光斑尺寸取决于激光器、光束直径与所配 F-Theta 场镜,请按实际光学配置向 SCANLAB 或授权代理商确认。

典型应用

  • 金属增材制造(SLM/LPBF)高速扫描与轮廓加工
  • 高速激光打标、雕刻及精密微加工
  • 激光焊接、切割、钻孔及复杂轨迹加工
  • 光伏、电池制造及高节拍工业加工

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长(含 DUV、UV、绿光、光纤、CO2)与功率选择,镀膜随波长配置。
intelliSCAN  IV 扫描振镜按入射光束直径与功率选择 10 / 14 / 20 / 30 mm。
F-Theta 场镜按工作距离、扫描场尺寸、波长与目标光斑选择。
RTC6 控制板支持 SL2-100 / XY2-100 Enhanced 接口及自动识别;配合 SCANahead 可自动设置扫描器与激光器延迟。
iDRIVE 诊断用于扫描振镜状态监测与故障诊断。
过程监测与冷却增材制造等高功率场景可配套过程监测系统,并按功率选择水冷或风冷。

详情资料:intelliSCAN IV 系列扫描振镜


intelliSCAN III 系列成熟稳定的高性能扫描振镜

intelliSCAN III 是面向工业激光加工的高性能数字控制扫描振镜系列,采用成熟的扫描技术与数字伺服控制,在动态性能、定位精度、重复性和长期运行稳定性之间取得平衡。该系列经过长期工业应用验证,在扫描速度、定位精度、重复性与长期稳定性之间取得良好平衡,可与各类激光器、F-Theta 场镜及激光加工控制系统配套,适用于激光打标、雕刻、焊接、切割、钻孔、精密加工及增材制造。

intelliSCAN III系列扫描振镜

主要优势

  • 成熟的工业扫描技术与数字伺服控制。
  • 源文档给出的重复性(RMS)小于 2 µrad,最大定位分辨率为 18 bit。
  • 支持多种波长镀膜及多波长、宽带等可选镀膜。
  • 支持 SL2-100、XY2-100 Enhanced 等数字控制接口及 iDRIVE 诊断功能(以型号配置为准)。
  • 不同孔径型号具有不同的扫描幅面、速度、功率和冷却条件,便于按系统需求匹配。

主要技术参数

型号intelliSCAN  III 10intelliSCAN  III 14intelliSCAN  III 20intelliSCAN  III 30
光学配置
通光孔径(入射孔径)10 mm14 mm20 mm30 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器
可选镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)200 W @ 1064 nm440 W @ 1064 nm1000 W @ 1064 nm(配合风冷)5000 W @ 1064 nm(配合风冷)
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸120 × 120 mm95 × 95 mm60 × 60 mm30 × 30 mm
典型光斑尺寸32 µm23 µm16 µm11 µm
动态性能
预装调谐模式数量最多 3 种最多 3 种最多 3 种最多 3 种
典型调谐模式快速矢量调谐锐边调谐快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.11 ms0.15 ms0.32 ms0.55 ms
打标速度3.5 m/s2.0 m/s1.0 m/s0.7 m/s
定位速度12.0 m/s5.0 m/s11.0 m/s9.0 m/s
写入速度(高质量模式)760 cps480 cps230 cps150 cps
写入速度(良好质量模式)1080 cps680 cps340 cps220 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.40 ms0.45 ms0.70 ms1.1 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)1.1 ms3.0 ms1.9 ms2.5 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率18 bit18 bit18 bit18 bit
非线性度< 0.9 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 15 µrad/K< 15 µrad/K< 20 µrad/K< 20 µrad/K
温度漂移(增益)< 25 ppm/K< 25 ppm/K< 15 ppm/K< 15 ppm/K
8 小时漂移(零点偏移)< 100 µrad< 100 µrad< 100 µrad< 100 µrad
8 小时漂移(增益)< 100 ppm< 100 ppm< 100 ppm< 100 ppm
24 小时漂移(零点偏移)< 100 µrad< 100 µrad< 100 µrad< 100 µrad
24 小时漂移(增益)< 100 ppm< 100 ppm< 100 ppm< 100 ppm
增益误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
高级诊断功能支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)
供电要求30 V DC,最大 6 A30  V DC,最大 6 A
48 V DC,最大 6 A
30  V DC,最大 6 A
48 V DC,最大 6 A
30 V DC,最大 6 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
连接器位置光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧光束入射侧
重量(不含场镜,标准外壳)3 kg3 kg5.8 kg5.8 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)175 × 114 × 147 mm175 × 118 × 147 mm206.9 × 140 × 180 mm206.9 × 140 × 180 mm
光束偏移量12.56 mm16.42 mm25.25 mm35.53 mm
水冷可选可选可选可选
风冷可选可选可选可选
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:最大激光功率为 1064 nm、100% 占空比下的标准系统数据;20 mm 与 30 mm 型号需配合风冷。

典型应用

  • 工业激光打标与雕刻
  • 激光焊接、切割和钻孔
  • 精密轮廓加工与微加工
  • 适配的金属增材制造及其他工业激光加工

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长与功率选择,标准镀膜覆盖主流工业激光波长。
intelliSCAN  III 扫描振镜按入射光束直径、功率与扫描速度选择 10 / 14 / 20 / 30 mm;需要无外壳集成时可选模块式结构。
F-Theta 场镜按扫描场尺寸、工作距离与光斑尺寸选择。
控制系统支持 SL2-100 与  XY2-100 Enhanced 数字接口,可配合 SCANLAB RTC 控制板及 laserDESK 软件。
冷却水冷或风冷为可选配置,20 mm、30  mm 高功率应用需配合风冷。

详情资料intelliSCAN III 系列扫描振镜


intelliSCAN 标准系列面向常规工业加工的标准型扫描振镜

intelliSCAN 标准系列面向常规工业激光加工,兼顾扫描性能、定位表现、系统兼容性和成本。提供 10、14、20、30 mm 通光孔径,可按激光波长、光束直径、功率、成像范围和扫描速度进行匹配。该系列兼顾扫描性能、定位精度、运行稳定性与经济性,采用标准化结构和接口,便于与激光器、F-Theta 场镜、扩束镜及激光控制系统集成,广泛用于激光打标、雕刻、焊接、切割、钻孔、清洗与表面处理。

intelliSCAN标准系列扫描振镜

主要优势

  • 面向常规工业激光加工的标准化扫描方案。
  • 提供多种通光孔径及常见激光波长镀膜选项。
  • 支持数字控制接口及 iDRIVE 诊断功能(具体以型号配置为准)。
  • 适用于常见打标、雕刻、焊接、切割、钻孔及表面处理设备。
  • 标准扫描头结构便于与光学和控制系统集成。

主要技术参数

型号intelliSCAN  10intelliSCAN  14intelliSCAN  20intelliSCAN  30
光学配置
通光孔径(入射孔径)10 mm14 mm20 mm30 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器
可选镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)200 W @ 1064 nm440 W @ 1064 nm2000 W @ 1064 nm(配合风冷)5000 W @ 1064 nm(配合风冷)
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸120 × 120 mm95 × 95 mm60 × 60 mm30 × 30 mm
典型光斑尺寸32 µm23 µm16 µm11 µm
动态性能
预装调谐模式数量最多 3 种最多 3 种最多 3 种最多 3 种
典型调谐模式快速矢量调谐锐边调谐快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.11 ms0.15 ms0.32 ms0.55 ms
打标速度3.5 m/s2.0 m/s1.0 m/s0.7 m/s
定位速度12.0 m/s5.0 m/s11.0 m/s9.0 m/s
写入速度(高质量模式)760 cps480 cps230 cps150 cps
写入速度(良好质量模式)1080 cps680 cps340 cps220 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.40 ms0.45 ms0.70 ms1.1 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)1.1 ms3.0 ms1.9 ms2.5 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率18 bit18 bit18 bit18 bit
非线性度< 3.5 mrad / 44°< 3.5 mrad / 44°< 3.5 mrad / 44°< 3.5 mrad / 44°
增益误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
高级诊断功能支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)
供电要求30 V DC,最大 6 A30  V DC,最大 6 A
48 V DC,最大 6 A
30  V DC,最大 6 A
48 V DC,最大 6 A
30 V DC,最大 6 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
连接器位置光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧光束入射侧
重量(不含场镜,标准外壳)3 kg3 kg5.8 kg5.8 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)175 × 114 × 147 mm175 × 114 × 147 mm206.9 × 140 × 180 mm206.9 × 140 × 180 mm
光束偏移量12.56 mm16.42 mm25.25 mm35.53 mm
水冷可选可选可选可选
风冷可选可选可选可选
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:标准系列不提供温度漂移与长期漂移指标;对漂移有要求的应用请选用 intelliSCAN III、intelliSCANse 或 intelliSCAN IV。

典型应用

  • 激光打标、产品编码与雕刻
  • 激光焊接、切割及钻孔
  • 表面处理和常规精密加工
  • 适配的自动化工业激光加工设备

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长与功率选择,标准镀膜覆盖主流工业激光波长。
intelliSCAN 扫描振镜按入射光束直径与功率选择 10 / 14 / 20 / 30 mm。
扩束镜与  F-Theta 场镜扩束镜调整入射光束直径,场镜决定扫描场尺寸与光斑尺寸。
控制系统支持 SL2-100 与  XY2-100 Enhanced 数字接口,可配合 SCANLAB RTC 控制板。
冷却水冷或风冷为可选配置。

详情资料intelliSCAN 标准系列扫描振镜


intelliSCANse带数字编码器系列高精度扫描振镜

intelliSCANse 面向对位置检测精度、重复性和长期稳定性要求较高的工业激光加工场景。系列采用数字式编码器位置检测,适用于精密轮廓、复杂几何图形及高一致性批量加工。数字编码器降低了位置检测噪声,并提供更高的线性度与更低的长期漂移,面向对定位精度、重复性、长期稳定性及加工一致性要求较高的场景,如精密轮廓加工、精密雕刻、复杂几何结构加工及金属增材制造。

intelliSCANse带数字编码器扫描振镜

主要优势

  • 数字式编码器位置检测,有助于提升位置检测分辨率与抗干扰能力。
  • 源文档列示 10/14 mm 型号重复性(RMS)小于 0.4 µrad、最大定位分辨率 20 bit。
  • 源文档列示较低的非线性及温度漂移指标。
  • 支持数字控制接口与 iDRIVE 诊断功能(依具体配置确认)。
  • 适合重视长期位置稳定性和批量加工一致性的应用。

主要技术参数

型号intelliSCANse  10intelliSCANse  14intelliSCANse  20intelliSCANse  30
光学配置
通光孔径(入射孔径)10 mm14 mm20 mm30 mm
位置检测方式数字式编码器数字式编码器数字式编码器数字式编码器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、DUV、CO2 激光器
可选镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜多波长、宽带、短脉冲、保偏镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)150 W @ 1064 nm440 W @ 1064 nm1000 W @ 1064 nm(配合风冷)5000 W @ 1064 nm(配合风冷)
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸120 × 120 mm95 × 95 mm60 × 60 mm30 × 30 mm
典型光斑尺寸32 µm23 µm16 µm11 µm
动态性能
预装调谐模式数量最多 3 种最多 3 种最多 3 种最多 3 种
典型调谐模式快速矢量调谐锐边调谐快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.11 ms0.15 ms0.32 ms0.55 ms
打标速度3.5 m/s2.0 m/s1.0 m/s0.7 m/s
定位速度12.0 m/s5.0 m/s11.0 m/s9.0 m/s
写入速度(高质量模式)760 cps480 cps230 cps150 cps
写入速度(良好质量模式)1080 cps680 cps340 cps220 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.40 ms0.45 ms0.70 ms1.1 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)1.1 ms3.0 ms1.9 ms2.5 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 0.4 µrad< 0.4 µrad< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率20 bit20 bit18 bit18 bit
非线性度< 0.5 mrad / 44°< 0.5 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 15 µrad/K< 15 µrad/K< 20 µrad/K< 20 µrad/K
温度漂移(增益)< 8 ppm/K< 8 ppm/K< 15 ppm/K< 15 ppm/K
8 小时漂移(零点偏移)< 20 µrad< 20 µrad< 100 µrad< 100 µrad
8 小时漂移(增益)< 20 ppm< 20 ppm< 100 ppm< 100 ppm
24 小时漂移(零点偏移)< 20 µrad< 20 µrad< 100 µrad< 100 µrad
24 小时漂移(增益)< 25 ppm< 25 ppm< 100 ppm< 100 ppm
增益误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
数字 SL2-100
数字 XY2-100 Enhanced
高级诊断功能支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)支持(iDRIVE)
供电要求30 V DC,最大 6 A30  V DC,最大 3 A
48 V DC,最大 3 A
30  V DC,最大 6 A
48 V DC,最大 6 A
30 V DC,最大 6 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
连接器位置光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧光束入射侧
重量(不含场镜,标准外壳)3 kg3 kg5.8 kg5.8 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)175 × 114 × 147 mm175 × 114 × 147 mm206.9 × 140 × 180 mm206.9 × 140 × 180 mm
光束偏移量12.56 mm16.42 mm25.25 mm35.53 mm
水冷可选可选可选可选
风冷可选可选可选可选
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:intelliSCANse 10 / 14 与 20 / 30 的重复性、定位分辨率、非线性度及漂移指标不同,选型时请按具体型号核对。

典型应用

  • 精密轮廓加工与精细雕刻
  • 复杂几何结构及高一致性加工
  • 对长期位置稳定性要求较高的工业激光加工
  • 精密微加工及适配的金属增材制造应用

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长与功率选择;标准镀膜覆盖 YAG、光纤、绿光、UV、DUV 与 CO2 激光器。
intelliSCANse 扫描振镜按精度要求与入射光束直径选择 10 / 14 / 20 / 30 mm。
F-Theta 场镜按扫描场尺寸、工作距离与光斑尺寸选择。
控制系统支持 SL2-100 与  XY2-100 Enhanced 数字接口,可配合 SCANLAB RTC 控制板。
冷却水冷或风冷为可选配置;20 mm、30  mm 高功率应用需配合风冷。

详情资料:intelliSCANse带数字编码器系列扫描振镜


SCANcube 系列扫描振镜

SCANcube 是面向工业激光加工的紧凑型二维扫描系统,采用坚固的扫描振镜结构,兼顾动态性能、加工精度与成本效益。系列分为 SCANcube IV 系列、SCANcube III 系列与 SCANcube 标准系列:其中SCANcube IV 系列进一步改进线性度与热稳定性,并提供应用专用调谐与状态回读功能;SCANcube III 系列通过优化振镜驱动与调谐提升动态性能和精度;标准系列适用于常规激光扫描。

子系列型号主要特点
SCANcube  IV 系列SCANcube IV 7、10、14、20、30应用专用调谐、线性度提升~ 30%、改进热稳定性,支持实际状态回读
SCANcube  III 系列SCANcube III 10、14采用 dynAXIS 3 振镜扫描单元,优化动态性能、精度及热表现
SCANcube 标准系列SCANcube 7、10紧凑型结构,适用于常规激光打标及编码


SCANcube IV 系列线性度提升、支持状态回读的紧凑型扫描振镜

SCANcube IV 是面向工业激光加工的紧凑型二维扫描振镜系列,提供多种通光孔径和应用专用调谐选项。重新设计的外壳改善了热管理,并支持集成式状态回读功能。适用于激光打标与编码、激光清洗、金属增材制造、激光切割、激光焊接及纺织材料加工,为设备制造商和系统集成商提供高性价比的二维扫描方案。

SCANcubeIV系列扫描振镜

主要优势

  • 与 SCANcube III 相比,源文档称扫描线性度提升约 30%,非线性指标小于 0.7 mrad/44°。
  • 支持应用专用调谐选项,可适配不同扫描轨迹与加工工艺。
  • 支持集成式回读功能,配合适配 RTC 控制板可读取监测与诊断数据。
  • 覆盖多种通光孔径,可按入射光束、激光功率和成像范围进行选型。

各系列型号典型应用

型号通光孔径典型应用
SCANcube  IV 77 mm激光打标与编码、激光清洗
SCANcube  IV 1010 mm激光打标与编码
SCANcube  IV 1414 mm激光打标与编码、金属增材制造
SCANcube  IV 2020 mm激光清洗、金属增材制造、激光切割、激光焊接
SCANcube  IV 3030 mm激光清洗、激光切割、激光焊接、纺织材料加工

主要技术参数

型号SCANcube IV  10SCANcube IV  14SCANcube IV  20SCANcube IV  30
光学配置
通光孔径(入射孔径)10 mm14 mm20 mm30 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器
可选镀膜多波长镀膜、宽带镀膜多波长镀膜、宽带镀膜多波长镀膜、宽带镀膜多波长镀膜、宽带镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)200 W @ 1064 nm440 W @ 1064 nm2000 W @ 1064 nm(配合风冷)5000 W @ 1064 nm(配合风冷)
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸110 × 110 mm95 × 95 mm60 × 60 mm30 × 30 mm
典型光斑尺寸32 µm23 µm16 µm11 µm
动态性能
预装调谐模式数量1 种1 种1 种1 种
典型调谐模式快速矢量调谐快速矢量调谐快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.12 ms0.15 ms0.23 ms0.37 ms
打标速度3.0 m/s2.5 m/s——
定位速度20.8 m/s14.4 m/s9.6 m/s7.0 m/s
写入速度(高质量模式)700 cps540 cps320 cps185 cps
写入速度(良好质量模式)950 cps750 cps410 cps250 cps
阶跃响应时间(10 mrad 阶跃)0.20 ms0.28 ms0.53 ms0.81 ms
阶跃响应时间(100 mrad 阶跃)0.80 ms1.18 ms2.03 ms2.86 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率16 bit16 bit16 bit16 bit
非线性度< 0.7 mrad / 44°< 0.7 mrad / 44°< 0.7 mrad / 44°< 0.7 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 20 µrad/K< 20 µrad/K< 20 µrad/K< 20 µrad/K
温度漂移(增益)< 20 ppm/K< 20 ppm/K< 35 ppm/K< 35 ppm/K
8 小时漂移(零点偏移)< 50 µrad< 50 µrad< 50 µrad< 50 µrad
8 小时漂移(增益)< 50 ppm< 50 ppm< 50 ppm< 50 ppm
增益误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准接口,支持自动识别)
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准接口,支持自动识别)
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准接口,支持自动识别)
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准接口,支持自动识别)
高级诊断功能支持(可选配)支持(可选配)支持(可选配)支持(可选配)
供电要求30 V DC,最大 3 A30 V DC,最大 3 A30 V DC,最大 2.6 A30 V DC,最大 3 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜
连接器位置光束入射侧光束入射侧光束入射侧光束入射侧
重量(不含场镜,标准外壳)2.1 kg2.7 kg5.3 kg5.4 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)114 × 96.5 × 101.6 mm135 × 99.5 × 118.5 mm176 × 140 × 139 mm186 × 140 × 145 mm
光束偏移量12.54 mm16.42 mm25.25 mm35.54 mm
水冷不支持不支持不支持不支持
风冷不支持不支持支持支持
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:SCANcube IV 采用固定角度(10 mrad / 100 mrad)阶跃响应测试条件,与其他系列的 1% / 10% 满量程阶跃响应不可直接比较。
 注:SCANcube IV 7 的完整技术参数请向 SCANLAB 或授权代理商索取。16 bit 分辨率以完整角度范围计算(±0.36 rad 时为 11 µrad)。

典型应用

  • 激光打标与产品编码
  • 激光清洗
  • 金属增材制造相关扫描应用
  • 适配的激光切割、焊接及纺织材料加工

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长、功率及工艺选择。
SCANcube  IV 扫描振镜按入射光束直径与功率选择 7 / 10 / 14 / 20 / 30 mm。
F-Theta 场镜设定加工幅面、焦距与工作面光斑尺寸。
RTC 控制板扫描控制与激光加工系统集成;配合回读功能获取位置、温度与状态数据。
laserDESK 软件加工任务配置与扫描系统控制。
varioSCAN  II 与相机适配器三维加工需要动态调焦时配套 varioSCAN II;视觉监测场景配套相机适配器。

详情资料:SCANcube IV 系列扫描振镜


SCANcube III 系列高动态低漂移的紧凑型扫描振镜

SCANcube III 是面向工业激光加工的紧凑型二维扫描振镜系列。型号包括 SCANcube III 10 和 SCANcube III 14,通光孔径分别为 10 mm 和 14 mm。采用模拟式位置检测器,并通过调谐和驱动电子设计提升动态性能、定位稳定性及热表现,适用于对扫描速度、定位稳定性与设备集成空间有要求的激光打标、精密微加工、半导体与电子材料加工,以及运动工件的动态在线加工。

SCANcubeIII系列扫描振镜

主要优势

  • 紧凑型扫描头,适合设备集成空间有限的应用。
  • 源文档列示重复性(RMS)小于 2 µrad,最大定位分辨率 16 bit。
  • 快速矢量调谐,源文档列示跟踪误差分别为 0.12 ms 和 0.15 ms。
  • 可配合适用的 RTC 控制板与 laserDESK 软件。

主要技术参数

型号SCANcube III  10SCANcube III  14
光学配置
通光孔径(入射孔径)10 mm14 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器
可选镀膜多波长镀膜、宽带镀膜多波长镀膜、宽带镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)200 W @ 1064 nm250 W @ 1064 nm
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸110 × 110 mm95 × 95 mm
典型光斑尺寸32 µm23 µm
动态性能
预装调谐模式数量1 种1 种
典型调谐模式快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.12 ms0.15 ms
打标速度3.0 m/s2.0 m/s
定位速度16.0 m/s14.0 m/s
写入速度(高质量模式)700 cps500 cps
写入速度(良好质量模式)925 cps740 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.30 ms0.35 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)0.80 ms0.90 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率16 bit16 bit
非线性度< 0.9 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 25 µrad/K< 25 µrad/K
温度漂移(增益)< 25 ppm/K< 25 ppm/K
8 小时漂移(零点偏移)< 100 µrad< 100 µrad
8 小时漂移(增益)< 100 ppm< 100 ppm
增益误差< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制模拟式伺服控制板模拟式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准配置)
模拟 ±4.8 V
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准配置)
模拟 ±4.8 V
高级诊断功能不支持不支持
供电要求±15 V DC,最大 2 A±15 V DC,最大 2 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜标准:扫描振镜
连接器位置光束入射侧光束入射侧
重量(不含场镜,标准外壳)1.9 kg2.3 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)114 × 96.5 × 94 mm133.5 × 99.5 × 105.5 mm
光束偏移量12.54 mm16.42 mm
水冷不支持不支持
风冷不支持不支持
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:16 bit 分辨率以完整角度范围计算(±0.36 rad 时为 11 µrad)。

典型应用

  • 激光打标与编码
  • 精密微加工和微结构加工
  • 半导体及电子材料相关加工
  • 适配的动态在线激光加工

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长、功率及工艺选择。
SCANcube  III 扫描振镜SCANcube III 10 或 SCANcube III 14。
F-Theta 场镜按工作距离、扫描场尺寸、波长与光斑要求选择。
控制系统SCANLAB RTC 控制板与 laserDESK 软件;接口支持 SL2-100、XY2-100 与模拟 ±4.8 V。
扩展模块按需评估相机适配器或 varioSCAN II。

详情资料:SCANcube III 系列扫描振镜


SCANcube 标准系列经济型紧凑扫描振镜

SCANcube 标准系列是紧凑型二维激光扫描系统,面向常规工业激光打标、产品编码及相关扫描应用。型号包括 SCANcube 7(通光孔径 7 mm)和 SCANcube 10(通光孔径 10 mm)。系该列将振镜组件与外壳一体化设计,采用模拟式位置检测器,重复性 < 2 µrad(RMS),最大定位分辨率 16 bit,最大激光功率分别为 100 W 和 200 W(@ 1064 nm)。该系列体积小、重量轻(SCANcube 7 仅 650 g),性价比高,适合对设备空间、系统成本和扫描性能有综合要求的激光打标、产品编码及精细图形加工设备;配合 F-Theta 场镜、SCANLAB 控制产品与 laserDESK 软件,可构建完整的激光扫描加工单元。

SCANcube标准系列扫描振镜

主要优势

  • 紧凑型扫描头设计,便于集成至空间受限的设备。
  • 兼顾常规扫描性能、设备集成便利性与成本效益。
  • 通光孔径包括 7 mm 和 10 mm。
  • 支持常见激光波长镀膜,具体镀膜选项以型号配置为准。

主要技术参数

型号SCANcube 7SCANcube 10
光学配置
通光孔径(入射孔径)7 mm10 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器
可选镀膜多波长镀膜、宽带镀膜多波长镀膜、宽带镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)100 W @ 1064 nm200 W @ 1064 nm
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸115 × 115 mm110 × 110 mm
典型光斑尺寸46 µm32 µm
动态性能
预装调谐模式数量1 种1 种
典型调谐模式快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.14 ms0.16 ms
打标速度2.5 m/s2.0 m/s
定位速度15.0 m/s10.0 m/s
写入速度(高质量模式)600 cps400 cps
写入速度(良好质量模式)900 cps640 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.25 ms0.40 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)0.70 ms1.2 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率16 bit16 bit
非线性度< 3.5 mrad / 44°< 3.5 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 30 µrad/K< 30 µrad/K
温度漂移(增益)< 80 ppm/K< 80 ppm/K
增益误差< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制模拟式伺服控制板模拟式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准配置)
模拟 ±4.8 V
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准配置)
模拟 ±4.8 V
高级诊断功能不支持不支持
供电要求±15 V DC,最大 2 A±15 V DC,最大 2 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜标准:扫描振镜
连接器位置位于与光束出射侧相对的一侧光束入射侧
重量(不含场镜,标准外壳)650 g1.9 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)78.5 × 69 × 77.9 mm114 × 96.5 × 94 mm
光束偏移量9.98 mm12.54 mm
水冷不支持不支持
风冷不支持不支持
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:16 bit 分辨率以完整角度范围计算(±0.36 rad 时为 11 µrad)。SCANcube 标准系列未列出 8 小时 / 24 小时漂移指标。

典型应用

  • 激光打标与产品编码
  • 文字、图形、序列号及二维码标记
  • 精细图形与适配的微结构加工
  • 自动化生产线中的常规二维激光扫描

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按加工材料、波长及工艺要求提供光源;标准镀膜覆盖 YAG、光纤、绿光、UV、CO2。
SCANcube 扫描振镜控制激光束在加工平面内进行二维扫描。
F-Theta 场镜将光束聚焦至加工平面,焦距决定扫描场尺寸与光斑尺寸。
振镜控制系统按接口选择:数字 SL2-100、XY2-100  或模拟 ±4.8 V;可结合 SCANLAB 控制产品。
加工软件可结合 laserDESK 完成图形导入、参数设置与任务管理;兼容性需按型号、接口与软件版本确认。

详情资料:SCANcube 标准系列扫描振镜


hurrySCAN 系列扫描振镜

hurrySCAN 系列兼顾扫描性能、结构紧凑性、系统集成灵活性与成本效益,通光孔径覆盖 7–30 mm,分为 hurrySCAN II 系列与 hurrySCAN 标准系列两个系列采用不同的振镜技术与动态性能配置,选型时不宜只比较通光孔径,还应综合评估重复性、温度漂移、写入速度及控制接口。

子系列型号主要选型方向
4.1  hurrySCAN II 系列hurrySCAN II 7侧重高速扫描与高精度的应用,如快速打标
4.2  hurrySCAN 标准系列hurrySCAN 20、30(hurrySCAN 25 等请咨询)通用工业激光加工;较大孔径型号可面向较高激光功率及较小光斑需求


hurrySCAN II 系列小孔径高速高精度扫描振镜

hurrySCAN II 系列面向工业激光扫描加工,该型号采用模拟式位置检测器与模拟式伺服控制板,适用于快速打标与编码、精细图形扫描、微孔与微结构加工,以及运动工件的动态在线加工。

hurrySCANII系列扫描振镜

主要优势

  1. 高速扫描:跟踪误差 0.11 ms,打标速度 3.5 m/s,定位速度 15.0 m/s,适合对加工节拍要求高的打标应用。
  2. 高精度:重复性 < 2 µrad(RMS),最大定位分辨率 18 bit,适合精细图形与微结构加工。
  3. 紧凑结构与灵活安装:重量~ 3 kg,外形 175 × 114 × 147 mm,可选模块式结构(无外壳)。
  4. 多种控制接口:支持数字 SL2-100、XY2-100(标准)及模拟 ±4.8 V、±9.6 V 接口。

主要技术参数

型号hurrySCAN II  7
光学配置
通光孔径(入射孔径)7 mm
位置检测方式模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器
可选镀膜多波长镀膜、宽带镀膜、短脉冲应用镀膜及保偏镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)100 W @ 1064 nm
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸65 × 65 mm
典型光斑尺寸46 µm
动态性能
预装调谐模式数量1 种
典型调谐模式快速矢量调谐
跟踪误差0.11 ms
打标速度3.5 m/s
定位速度15.0 m/s
写入速度(高质量模式)800 cps
写入速度(良好质量模式)1100 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.23 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)—
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad
最大定位分辨率18 bit
非线性度< 3.5 mrad / 44°
增益误差< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad
电气与控制
伺服控制模拟式伺服控制板
控制接口数字:SL2-100、XY2-100(标准)
模拟:±4.8 V、±9.6 V
高级诊断功能不支持
供电要求±(15 + 1.5) V DC,最大 3 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
连接器位置光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
重量(不含场镜,标准外壳)~ 3 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)175 × 114 × 147 mm
光束偏移量9.98 mm
水冷不支持
风冷不支持
工作温度25 °C ± 10 °C

注:18 bit 分辨率以完整角度范围计算(±0.36 rad 时~ 2.8 µrad);实现优于 16 bit(11 µrad)的分辨率需配合 SL2-100 接口。

典型应用

  1. 激光打标与编码:金属零部件、电子元器件及工业产品的文字、序列号、二维码和图形标记。
  2. 精密微加工与微结构加工:精细图形扫描、微孔加工与表面微结构加工,能力取决于型号、聚焦光学与激光工艺。
  3. 动态在线加工:运动工件的在线加工,需按产线速度、同步方式和控制架构确定配置。

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长、功率及工艺选择。
hurrySCAN  II 扫描振镜按入射光束直径、动态性能与精度要求选择。
F-Theta 场镜按工作距离、加工幅面、波长与目标光斑选择。
RTC 控制板按振镜接口、控制需求与软件兼容性选择。
laserDESK 软件适配的 SCANLAB 扫描系统的加工任务与扫描控制。
三轴扩展与辅助组件需要 Z 轴动态聚焦时评估  varioSCAN II;按需评估相机适配器、距离传感器、辅助照明及保护组件。

详情资料:hurrySCAN系列扫描振镜


hurrySCAN 标准系列20 / 30 mm 通用高功率扫描振镜

hurrySCAN 面向较大通光孔径及较高功率的工业激光扫描应用,支持水冷与偏转镜风冷,适用于扫描式焊接、材料加工、打标与精密微加工等应用。

hurrySCAN标准系列扫描振镜

主要优势

  1. 面向高功率加工:hurrySCAN 20 最大 2000 W、hurrySCAN 30 最大 5000 W(@ 1064 nm,配合风冷)。
  2. 水冷与风冷:hurrySCAN 20、30 均支持水冷与风冷,有助于维持稳定的工作条件。
  3. 小光斑能力:典型光斑尺寸 16 µm(hurrySCAN 20)/ 11 µm(hurrySCAN 30)。
  4. 灵活集成:可配合 SCANLAB RTC 控制板与相关软件,并按型号评估三轴扫描扩展、相机适配器及辅助组件。

主要技术参数

型号hurrySCAN 20hurrySCAN 30
光学配置
通光孔径(入射孔径)20 mm30 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器YAG 及光纤、绿光、UV、CO2 激光器
可选镀膜多波长镀膜、宽带镀膜、短脉冲应用镀膜及保偏镀膜多波长镀膜、宽带镀膜、短脉冲应用镀膜及保偏镀膜
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)2000 W @ 1064 nm(配合风冷)5000 W @ 1064 nm(配合风冷)
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸60 × 60 mm30 × 30 mm
典型光斑尺寸16 µm11 µm
动态性能
预装调谐模式数量1 种1 种
典型调谐模式快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.35 ms0.55 ms
打标速度1.0 m/s0.7 m/s
定位速度6.0 m/s3.0 m/s
写入速度(高质量模式)210 cps150 cps
写入速度(良好质量模式)320 cps220 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.80 ms1.20 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)2.50 ms4.50 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率18 bit18 bit
非线性度< 3.5 mrad / 44°< 3.5 mrad / 44°
增益误差< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制模拟式伺服控制板模拟式伺服控制板
控制接口数字:SL2-100、XY2-100(标准)
模拟:±4.8 V、±9.6 V
数字:SL2-100、XY2-100(标准)
模拟:±4.8 V、±9.6 V
高级诊断功能不支持不支持
供电要求±(15 + 1.5) V DC,最大 3 A±(15 + 1.5) V DC,最大 6 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜
可选:模块式结构(无外壳)
标准:扫描振镜
连接器位置光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
光束入射侧
可选:光束出射侧的相对一侧
重量(不含场镜,标准外壳)~ 5.8 kg~ 5.8 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)206.9 × 140 × 180 mm206.9 × 140 × 180 mm
光束偏移量25.25 mm35.53 mm
水冷支持支持
风冷支持支持
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:18 bit 分辨率以完整角度范围计算(±0.36 rad 时~ 2.8 µrad);实现优于 16 bit(11 µrad)的分辨率需配合 SL2-100 接口。
 注:hurrySCAN 25 等其他孔径型号的完整参数请向 SCANLAB 或授权代理商索取。

典型应用

  1. 激光焊接与材料加工:适配的扫描式焊接及其他材料加工系统,需按激光功率、光斑尺寸、加工轨迹与热管理要求选型。
  2. 激光打标与编码:金属零部件、电子元器件及工业产品的标记。
  3. 精密微加工:微孔加工与表面微结构加工,能力取决于型号、聚焦光学与激光工艺。
  4. 动态在线加工:运动工件的在线加工,需按产线速度、同步方式和控制架构确定配置。

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、波长、功率及工艺选择。
hurrySCAN 扫描振镜按入射光束直径、通光孔径与功率要求选择 20 / 30 mm。
F-Theta 场镜按工作距离、加工幅面、波长与目标光斑选择。
RTC 控制板按振镜接口、控制需求与软件兼容性选择。
laserDESK 软件适配的 SCANLAB 扫描系统的加工任务与扫描控制。
三轴扩展与辅助组件需要 Z 轴动态聚焦时评估  varioSCAN II;按需评估相机适配器、距离传感器、辅助照明及保护组件。

详情资料:hurrySCAN系列扫描振镜


basiCube 系列扫描振镜

basiCube 是面向常规激光加工的经济型二维扫描系统,兼顾紧凑结构、动态性能和系统成本,体积小、重量轻,采用模拟式位置检测器,适合安装于自动化产线、激光打标设备及 OEM 激光加工装备,可与适配的 F-Theta 场镜、RTC 控制板和控制软件组成激光扫描系统。

basicube系列扫描振镜

主要优势

  • 紧凑轻量化结构,便于集成到空间受限的设备。
  • 面向打标、编码和动态在线加工;源文档称 basiCube 10d 相比 basiCube 10 的标称速度提升约 10%。
  • 不同型号提供不同通光孔径和波长镀膜组合。
  • 定位经济型二维扫描系统,适合常规激光加工需求。

各型号主要区别与特点

型号通光孔径最大激光功率典型应用方向选型特点
basiCube  1010 mm150 W @ 1064 nm激光打标、编码、在线加工常见光纤激光打标应用
basiCube  10d10 mm150 W @ 1064 nm高速打标、编码、在线加工较 basiCube 10 动态性能更高(打标速度 3.0 m/s)
basiCube  1414 mm250 W @ 1064 nm(可选配置最高 500 W)精细打标、电子元件标记、在线加工较大孔径,支持多种波长配置
basiCube  2020 mm1000 W @ 1064 nm轻型激光焊接、切割、增材制造较大孔径,面向更高功率

主要技术参数

型号basiCube 10basiCube 10dbasiCube 14basiCube 20
光学配置
通光孔径(入射孔径)10 mm10 mm14 mm20 mm
位置检测方式模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器模拟式位置检测器
标准镀膜(波长范围)1064 nm、532 nm、355 nm、10600 nm1064 nm、532 nm、355 nm、10600 nm1064 nm、355 nm、10600 nm1064 nm、355 nm、10600 nm
最大激光功率(标准系统,100% 占空比)150 W @ 1064 nm150 W @ 1064 nm250 W @ 1064 nm(可选配置最高 500 W)1000 W @ 1064 nm
典型扫描角度±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)±0.35 rad(光学角)
扫描场尺寸110 × 110 mm110 × 110 mm95 × 95 mm60 × 60 mm
典型光斑尺寸32 µm32 µm23 µm16 µm
动态性能
预装调谐模式数量1 种1 种1 种1 种
典型调谐模式快速矢量调谐快速矢量调谐快速矢量调谐快速矢量调谐
跟踪误差0.14 ms0.10 ms0.14 ms0.25 ms
打标速度2.5 m/s3.0 m/s2.0 m/s1.1 m/s
定位速度12.8 m/s20.8 m/s12.8 m/s8.0 m/s
写入速度(高质量模式)570 cps590 cps425 cps210 cps
写入速度(良好质量模式)800 cps860 cps620 cps290 cps
阶跃响应时间(1% 满量程)0.35 ms0.30 ms0.34 ms0.58 ms
阶跃响应时间(10% 满量程)1.0 ms1.0 ms1.47 ms2.38 ms
精度与漂移
重复性(RMS)< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad< 2 µrad
最大定位分辨率16 bit16 bit16 bit16 bit
非线性度< 3.5 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°< 0.9 mrad / 44°
温度漂移(零点偏移)< 30 µrad/K< 30 µrad/K< 30 µrad/K< 30 µrad/K
温度漂移(增益)< 160 ppm/K< 160 ppm/K< 160 ppm/K< 160 ppm/K
8 小时漂移(零点偏移)< 100 µrad< 100 µrad< 100 µrad< 100 µrad
8 小时漂移(增益)< 250 ppm< 250 ppm< 250 ppm< 250 ppm
增益误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
零点偏移误差< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad< 5 mrad
电气与控制
伺服控制模拟式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板数字式伺服控制板
控制接口数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准)
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准)
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准)
数字 SL2-100
数字 XY2-100(标准)
高级诊断功能不支持不支持不支持不支持
供电要求±15 V DC,每轴最大 3 A24  V DC,最大 3 A
30 V DC,最大 3 A
24  V DC,最大 3 A
30 V DC,最大 3 A
24  V DC,最大 3 A
30 V DC,最大 3 A
机械与环境
扫描轴2 轴系统2 轴系统2 轴系统2 轴系统
外壳形式标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜标准:扫描振镜
连接器位置光束入射侧光束入射侧光束入射侧光束入射侧
重量(不含场镜,标准外壳)1.5 kg1.5 kg2.15 kg3.75 kg
外形尺寸(L  × W × H,标准外壳)105.6 × 91.4 × 90.5 mm105.6 × 91.4 × 91.3 mm123 × 95 × 104 mm155 × 130 × 122 mm
光束偏移量12.54 mm12.54 mm16.42 mm—
水冷不支持不支持不支持不支持
风冷不支持不支持不支持不支持
工作温度25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C25 °C ± 10 °C

注:16 bit 分辨率以完整角度范围计算(±0.36 rad 时~ 11 µrad)。“—”表示原资料未列出。

典型应用

  • 激光打标与编码
  • 动态在线加工与传送带标记
  • 电子元件及工业零部件精细标记
  • 适配的轻型激光焊接、切割及增材制造应用(需按工艺确认)

系统集成参考

系统组成选型与集成要点
激光器按材料、工艺、波长及功率选择。
basiCube 扫描振镜按通光孔径、动态性能与加工要求选型。
F-Theta 场镜按波长、焦距、光斑和加工幅面匹配。
RTC 控制板执行扫描轨迹控制与激光加工任务;需确认控制接口、硬件型号与软件兼容性。
laserDESK 软件激光加工任务的创建、管理与执行;需确认控制板与扫描振镜的兼容配置。
varioSCAN  II 与相机适配器varioSCAN II 扩展 Z 轴动态聚焦,用于三维加工;相机适配器支持视觉系统集成。

详情资料:basiCube系列扫描振镜

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